◈ 제품특징

• 반도체 재료가스를 정밀하게 검지：신뢰성이 매우 높은 정전위 전해식 센서사용, 유기용제(에탄올, 토루엔, 키시린 등)에 의한 영향이 적고 각종 반도체 재료 가스를 정도높게 측정
• 보기 편리한 디지털 표시：디지털 표시창이 크므로 읽기에 편리
• 자동 흡입식：독자적인 마이크로 에어 펌프에 의한 자동흡입식 으로 조작이 간편
• 개스 유입관을 테프론 호스로 사용：유입관 및 흡입파이프 등에 테프론을 사용하여 가스 흡착에 의한 영향을 받지 않음.
  

◈ 제품사양

MODEL 대상가스 최대범위(F.S) XPS-7NH NH 3 (암모니아) 100ppm XPS-7SH Sih 4 (실레인) 02ppm XPS-7DC SiH 2 Cl 2 (디클로로실란) 25ppm XPS-7AS AsH 3 (아르신) 250ppb XPS-7PH pH 3 (인화수소) 1ppm XPS-7BH B 2 H 6 (디보란) 500ppb XPS-7SE H 2 Se(하이트로젠셀레나이) 250ppb XPS-7GH GeH 4 (사수소화게르마늄) 1ppm XPS-7CL Cl(염소) 5ppm XPS-7CF ClF3(불소화염소) 1ppm XPS-7HC HCL(염화수소) 25ppm XPS-7HF HF(불화수소) 10ppm XPS-7HB HBr(브롬화수소) 10ppm XPS-7NO NO(일산화질소) 100ppm XPS-7HS H 2 S(황화수소) 50ppm XPS-7CO CO(일산화탄소) 250ppm XPS-7DS Si 2 H 6 (디실란) 25ppm XPS-7F2 F2(불소) 5ppm XPS-7OZ O3(오존) 1ppm ※ XPS-7시리즈 공통규격 검지원리 정전위전해식 채집방식 자동흡입식 지시정도 ±10% ±1 Digit(F.S) 응답시간 60%응답 40초 사용온도범위 0~40℃ 전원 DC 9V (A4건전지×6개) 전시사용시간 약 20시간 크기, 무게 86×140×175mm, 약 2.5kg 표준 부속품 레자케이스, 건전지6개, 휠터부착 흡입파이프, 가스도입관