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●반도체 재료가스를 정밀하게 검지. ●정전위 전해식 센서사용, 유기용제(에탄올, 토루엔, 키시린 )에 의한 영향이 적다 ● 반도체 재료 가스를 측정 ●보기 편리한 디지털 표시:디지털 표시창이 크므로 읽기에 편리 ●자동 흡입식:독자적인 마이크로 에어 펌프에 의한 자동흡입식 으로 조작이 간편 ●개스 유입관을 테프론 호스로 사용. ●유입관 및 흡입파이프 등에 테프론을 사용하여 가스 흡착에 의한 영향을 받지 않음.
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MODEL |
대상가스 |
검지범위 |
최소눈굼 |
경보설정치 |
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XD-303NH |
암모니아 |
0~100ppm |
1ppm |
50ppm |
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XD-303SH |
Mono-Silane |
0~25ppm |
0.1ppm |
5.0ppm |
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XD-303DCS |
Dichlor Silane |
0~25ppm |
0.1ppm |
5.0ppm |
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XD-303SD |
이산화황 |
0~25ppm |
0.1ppm |
5.0ppm |
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XD-303AH |
Arisine |
0~1ppm |
0.01ppm |
0.20ppm |
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XD-303AHL |
0~0.25ppm |
0.05ppm |
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XD-303PH |
Phosphine |
0~1ppm |
0.01ppm |
0.30ppm |
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XD-303BH |
Diborane |
0~3ppm |
0.01ppm |
1.00ppm |
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XD-303BHL |
0~1ppm |
0.10ppm |
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XD-303HSE |
Selenide 수소 |
0~3ppm |
0.01ppm |
1.00ppm |
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XD-303GH |
Mono Gell Mann |
0~3ppm |
0.01ppm |
1.00ppm |
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XD-303FL |
불소 |
0~5ppm |
0.1ppm |
1.0ppm |
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XD-303CL |
염소 |
0~5ppm |
0.1ppm |
1.0ppm |
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XD-303ND |
이산화질소 |
0~10ppm |
0.1ppm |
3.0ppm |
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XD-303CLF3 |
3불화염소 |
0~1ppm |
0.01ppm |
0.20ppm |
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XD-303HCL |
염화수소 |
0~25ppm |
0.1ppm |
5.0ppm |
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XD-303HF |
불화수소 |
0~10ppm |
0.1ppm |
3.0ppm |
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XD-303HBR |
질화수소 |
0~25ppm |
0.1ppm |
3.0ppm |
※ XD-303시리즈 공통규격
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검지원리 |
정전위전해식 |
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채집방식 |
자동흡입식 |
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지시정도 |
±10% ±1 Digit(F.S) |
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응답시간 |
60%응답 40초 |
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사용온도범위 |
0~40℃ |
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전원 |
DC 9V (A4건전지×6개) |
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전시사용시간 |
약 20시간 |
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크기, 무게 |
86×140×175mm, 약 2.5kg |
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표준 부속품 |
레자케이스, 건전지6개, 휠터부착 흡입파이프, 가스도입관 |
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